本书系统分析和详细描述了MEMS系统级建模中最重要的两种途径，即基于集总元件的物理建模和采用模型降阶方法的数学建模，可以有效实现单个MEMS器件与整个系统的联合仿真。同时，也对MEMS系统级模拟的软件实现进行了比较详尽地分析和介绍。

本书由机电控制系统概述、MATLAB与机电控制系统仿真，控制系统的数学模型，机电控制系统的时域性能指标，机电控制系统的设计与综合校正，机电控制系统的分析、调试与故障排除等几个部分组成。