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MEMS系统级建模
定 价:89 元
丛书名:微纳系统系列译丛
作者:周再发译
出版时间:2020/3/1
ISBN:9787564172633
出 版 社:东南大学出版社
中图法分类:
TH-39
页码:442页
纸张:胶版纸
版次:1
开本:16K
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内容简介
本书系统分析和详细描述了MEMS系统级建模中最重要的两种途径,即基于集总元件的物理建模和采用模型降阶方法的数学建模,可以有效实现单个MEMS器件与整个系统的联合仿真。同时,也对MEMS系统级模拟的软件实现进行了比较详尽地分析和介绍。
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