工业等离子体原理与应用_赵洪阳 ... [等] 编著_9787302712497

本书以低温等离子体技术为切入点，结合作者多年来的研究进展，介绍了等离子体的基本特性、工作原理、产生方法，及其在功能薄膜制备、材料改性、集成电路制造等工业领域的应用。全书共8章，内容包括电荷在电磁场中的运动、电子源与电子束、等离子体的特性及其应用、暗放电、直流辉光放电和直流电弧放电、射频等离子体、微波等离子体原理及应用等。

前言

宇宙万象，存乎气、液、固三态之间，世人习以为常。然天地之外，星汉之间，更有一种存在，不囿于形，不滞于物，可谓“其形无常，其性至变”——此即等离子体也。它由电离之气凝聚而成，内蕴正负离子、电子与中性粒子，虽带电而整体守中，故谓之“等离子体”。其性也柔，其用也刚；其象也微，其功也显，“阴阳合德而刚柔有体”。等离子体既具光电热之妙，又能激发万千物理化学变化，诚为第四态物质之代表。自宇宙深处至人间器用，无处不现其身影。

近年来，等离子体科技日新月异，既推动材料、能源、信息、环境诸学科之进展，亦助力空间物理、地球物理之探究。其用也广，其益也深，实为国家发展之重要支撑。本书之作，意在揭示其理，彰明其用，自电荷在电磁场中之运动，至电子源与电子束、暗放电、辉光放电、电弧放电，以及射频与微波放电诸般现象，逐一阐述，以期融会贯通。

全书凡8章，乃武汉工程大学诸同仁集思广益、共襄而成。马志斌总揽全局，定其框架；赵洪阳主笔初稿与定稿，并撰第1章、第4章部分及第5章；付秋明执笔第2章，兼理全文脉络；曹为撰第7章、第8章；陶洪撰第6章；许传波撰第3章部分章节；刘繁撰第8章部分章节；匡双阳撰第4章部分章节；另有欧锴、周焱文、肖桂林、吴启瑞、沈厚明、刘美涵、翁俊、罗文博、王世奥、杨思捷诸君，协力提供案例、整理格式、绘制图表，助成其事。武汉普迪真空科技有限公司鼎力襄助，于等离子体设备诸端多所指陈，更有烽火、亿纬、国家电网、鼎龙诸企业倾力相助，俾学校与企业、原理与应用相得益彰。本书之成，亦承武汉工程大学本科生院资助，并得诸位同仁与读者之襄助，谨此致谢。

愿此书能如春风化雨，润物无声，启迪后学，助益四方。诚望读者与方家不吝赐教，俾使此书日臻完善。

赵洪阳

2025年12月

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