MEMS光纤声压传感器技术_金鹏等_9787030693273_网上馆配会

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MEMS光纤声压传感器技术

MEMS光纤声压传感器技术

定　　价：99 元

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作者：金鹏等
出版时间：2022/3/1
ISBN：9787030693273
出版社：科学出版社

中图法分类：TH
页码：180
纸张：
版次：31
开本：B5

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读者对象:从事光纤声压传感器相关技术人员以及高等院校相关专业的教师、高年级学生及研究生。

本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行详细的测试。

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